TOF-SIMS(Time of flight Secondary lon Mass Spectrometry)是利用脉冲离子東轰击样品表面产生二次离子，经飞行时间分析器分析二次离子到达探测器的时间，从而获得样品表面成份信息的分析技术。其表面灵感度高,提供表面几个原子层的分子、元素及其同位素的组成信息，运用于所有元素和同位素, 包括氢元素。