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ADEPT-1010 专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计，是大多数半导体开发和支持实验室的常用工具。通过优化的二次离子收集光学系统和超高真空设计，提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度
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俄歇电子能谱仪（AES）
飞行时间二次离子质谱仪（TOF- SIMS）
X射线光电子能谱仪（XPS）
动态二次离子质谱仪（D- SIMS）
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