产品特点

·使用CMA同轴分析器，同时实现高灵敏度和高传输率。即使在低电流高空间分辨率情况下，都可轻松的进行分析。

·以20kV加速电压和电流1nA进行俄歇分析，AES空间分辨率可达≤8nm。

·在拥有所有CMA优点的同时，并结合获得AVS(美国真空协会)设计奖的高能量分辨率功能，AES可以进行各种纳米级区域的化学态分析。

·Windows兼容的简易操作和功能强大的数据处理软件。

同轴筒镜分析仪CMA实现高灵敏度和高通量分析

Key technology

同轴筒镜分析仪(CMA:Cylindrical Mirror Analyzer)

同轴 CMA 是PHI公司在其电子光谱仪上的重大发明。CMA能全方位360度收集产生的俄歇电子，因此具有不受样品形貌和倾角影响的优点。图3 显示同轴 CMA 和非同轴谱仪SCA的灵敏度比较。CMA 从垂直入射到角度入射均能表现出高灵敏度特点，角度依赖性低，从而采用各种入射角度，分析各种形貌的样品均可得到优异的灵敏度和定量结果。

Application

比较分析形态复杂的样本

图4比较CMA和传统SCA所采集的球状样品的SEM成像，以及俄歇成分影像，SCA中俄歇成分图的阴影效果非常明显，而CMA在360°收集讯号的能力下所获得的SEM像和俄歇成分像可准确地反映真实结果。

SEM空间分辨率≦ 3 nm

AES成分像空间分辨率≤ 8 nm

俄歇分析通过SEM观察确定分析位置，再进行采谱，成分分布成像和深度剖析。在SEM观察时需要细小的聚焦电子束斑，同时进行俄歇分析，需要非常稳定的电子束。

SEM成像分辨率可达3纳米左右，PHI 710使用低噪声电源(图1)，采用隔音罩以减小振动、声音、和温度的影响，AES分析时分辨率可达到8nm 以下(20 kV 1nA).图2案例:球墨铸铁断面中晶间杂质的分析。

从左图所示：二次电子像，在图2中从左到右的影像所示分别为Ca(蓝色) Mg(绿色) Ti(红色)俄歇成分像，叠图以及S的俄歇成分分布像，表明了AES纳米级微区的化学分析能力。

AES化学态分析

key technology 图谱和分布像

PHI710 AES 成分像，每个像素点对应的图谱可对元素存在的化学态进行解析和进阶的化学态成像。

Application 高能量分辨率

图5显示半导体芯片电极 Si KLL的高能量分辨成分分布图。由Si KLL谱进行最小二乘法拟合(LLS)得出三个主要成分分别为单质硅、氮氧化硅、硅化物，从而可把这三种不同化学态的硅单独输出成像分布图。

基于Windows系统的操作软件和数据处理软件

SmartSoft^TM-AES(操作软件 )

SmartSoft AES 是在Windowsâ系统上运行的PHI 710控制软件。软件设置的AES分析操作流程显示在屏幕上，即便是初学者都可以轻松掌握。为提高分析效率，包括实时测量位置，SEM图、俄歇分布图及谱图等都能同时呈现。Zalar旋转功能使深度剖析灵活实现且得到最佳的深度分辨率，烘烤和真空控制自动化。图6 中显示的为操作屏幕画面。

PHl MultiPak^TM（数据分析软件)

提供分析软件PHI MultiPak使俄歇分析更完善。支持快速创建报告，并提供了基于Windows®系统易于使用的数据处理功能和数据分析能力。