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AES (Auger Electron Spectroscopy)是利用电子東电离激发原子内层电子,探测退激发过程出射的俄歇电子，获得样品表面的组成及化学性质的分析方法。AES不仅表面灵敏，而且具有纳米级的空间分辨率，因此广泛应用于半导体器件、微电子器件和材料科学等研究。
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